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发布日期:2021年10月20日

SHII系列空心阴极电源

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规格参数

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SH II系列空心阴极电源技术规格

本电源系统用于以空心热阴极等离子电子束蒸发源(HCD枪)实现金属材料蒸发的电源设备,采用高频开关技术,系统集成度高,工作效率高,性能稳定。

系统组成

引束电源

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主束电源

用于维持空心阴极产生等离子体电子束的工作电源,高密度等离子体电子束轰击靶材使其蒸发

聚焦电源

用于聚焦及偏转电子束,修正电子束与靶材的位置关系

枪集束电源

用于初步聚焦电子枪电子束

工作要求

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60Hz

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水要求

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

主束电源性能参数

电源功率范围

10-30kW

输出电压

空载150V

输出电流稳定率

1%

冷却方式

10kW风冷     15-30kW水冷

引束电源性能参数

电源功率范围

6-12kW

输出电压

空载800V

输出电流稳定率

1%

冷却方式

风冷

聚焦电源性能参数

电源功率范围

2kW

输出电压

空载100V

输出电流稳定率

1%

冷却方式

风冷

枪集束电源性能参数

电源功率范围

300W

输出电压

15V

输出电流稳定率

1%

冷却方式

风冷

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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